三维表面形貌测量仪具有高分辨率、大量程、低成本的特点。该三维表面形貌测量仪由基于直线相位衍射光栅干涉原理的微位移传感器、X-Y二维工作台、立柱、光电探测器以及信号处理电路、计算机及数据处理软件组成。该轮廓仪工作台的工作范围为50 mm×50 mm,小步距为0.2μm，工作台计量系统的分辨率为0.05μm，微位移传感器理论垂直分辨率可达到0.12 nm，实际测量量程为2 mm，通过更换测杆可以达到6 mm的测量量程。
 

　　三维表面形貌测量仪的测量原理：
 

　　低相干白光同时照射样品和参考平面，被样品和参考平面反射的两束白光发生干涉后由阵列式CMOS探测器接收，由于探测器直接与信号处理芯片(Smart Pixel技术)连接，所以阵列上每个像素点的信号都在芯片中完成锁相放大，背景信号补偿和结果计算输出，成像于计算机就实现了样品表面的快速三维形貌测量。
 

三维表面形貌测量仪的突出特点：
 

　　1、全自动：测量简单且自动化程度高，如自动更换物镜等。
 

　　2、高测量速度：InfiniteFocus的测量速度可以达到170万点/秒。
 

　　3、模块化和可扩展性：新的功能可以很容易通过扩展测量模式整合。
 

　　4、和：LED环形灯的设计，使表面测量的范围几乎不受限制。
 

　　5、高分辨，高可重复性和可溯源：即使对于复杂样品表面，仍可以获得高达10纳米的垂直分辨率。
 

　　6、一款的3D光学测量仪：InfiniteFocus G5整合了微型三坐标测量系统和表面粗糙度测量系统所有的功能。